半導体試験用スイッチ

IC メーカーにとって、設計スケールの進化、ジオメトリの縮小、および新しい材料の使用により、ウェハー・レベルの信頼性テストがこれまで以上に重要になっています。これにより、生産プロセスのさらに上流で信頼性テストとモデリングが促進され、ウェーハに欠陥がある場合やパッケージ化されたデバイスに障害が発生した場合に失われる時間、生産能力、お金、および材料が削減されます。より多くの I/O 数をテストすると同時にコストを削減するという問題に直面した場合、多くの信頼性エンジニアは、従来のスイッチングソリューションを使用してこれを解決できないことに気付きます。代わりに、エンジニアは、ニーズに合わせて拡張できるモジュール式の柔軟なソリューションにますます注目しています。

ピカリング社のモジュラー PXI および LXI マトリクス・スイッチ・ソリューションは、パッケージ・レベルおよびウェーハレベルのテスト、ショート/オープン、キャパシタンス、過渡電荷トラップおよび SCPT (Single Charge Pulse Trapping) の I/V テストなど、多くの半導体テストの用途で使用されています。

半導体パッケージのオープン・ショート・テストの成功事例資料のダウンロードお問合せ

ピカリング社の半導体テスト用マトリクス・スイッチ・ソリューション

高品質な接続：ピカリング社の計装グレードのリードリレーにより、経路抵抗が低く、繰り返し接続が可能
複数のアナログ・バス：並列テストによるスループットの向上
多くのリレーを複数同時に閉じる事が可能： I/Vテストの為に複数のテスト・ポイントをGNDに接続可能
テストシーケンスをユニットに読み込む機能：トリガーを利用してテストの接続を切替えることで、テスト時間を短縮
高速な動作：ピカリング社製リード・リレーの性能を活かしたマトリクス・スイッチ
接続経路を容易に設定可能にするツール：ピカリング社製Switch Path Manager (signal routing software)
モジュラー設計：スケーラビリティとメンテナンスが容易

技術情報

半導体試験モジュラーマトリックススイッチングソリューションの例

製品	特徴
微小電流計測用駆動ガード切替え LXI Scalableマトリックス・スイッチ (モデル 65-290-00x)	LXI Scalable Chassis(65-200-002)用のプラグイン・モジュール 16×16または、8×16 Switched Guardマトリックス・プラグイン・モジュールモジュラー・マトリックス設計最大絶縁抵抗最大10¹² Ω ループ・スルー接続を使用してマトリックスのXとY軸を拡張可能高品質のカスタム・ピカリング社製ルテニウム・リード・リレーを使用トリガー機能を備えたスキャン・リスト・シーケンス・ストアを内蔵 3年間保証
シングル・スロット PXI Switched Guard リード・リレー・モジュール (モデル 40-121 シリーズ)	絶縁抵抗を最大化するスイッチ・ガード（SMUからのガード出力も信号線と一緒に切り替えます）モジュールあたり26 個または13個のSPSTリレー、または16個または8個の2:1マルチプレクサ最大10¹³Ωの絶縁抵抗信頼性の高いピカリング社製ルテニウム・リード・リレー高速動作速度 500 μs（標準）最大100Vのスイッチ WindowsおよびLinux用のドライバーが提供され、リアルタイムシステムもサポートされます PXI版のモジュールは、PXIシャーシとPXI Expressハイブリッド・シャーシ、LXIシャーシに対応標準の3年保証が付属しています
シングル・スロット PXI Switched Guard マトリックス・スイッチ・モジュール (モデル 40-590 シリーズ)	PXI版とPXIe版モジュールの製品を提供絶縁抵抗を最大化するスイッチ・ガード（SMUからのガード出力も信号線と一緒に切り替えます）最大10¹²Ωの絶縁抵抗 16×4および8×4マトリックス構成で利用可能ループ・スルー接続を使用してX方向に拡張可能信頼性の高いピカリング社製のルテニウムリードリレーを採用 WindowsおよびLinux用のドライバーが提供され、リアルタイムシステムもサポートされます PXI版のモジュールは、PXIシャーシとPXI Expressハイブリッド・シャーシ、LXIシャーシに対応 PXI Express版のモジュールは、PXI Expressシャーシに対応標準の3年保証が付属しています

型番をクリックすると英国ピカリング社のページを開きます。

製品	特徴
高密度 LXI リード・リレー・マトリックス (モデル 65-221)	4つのY軸接続を備えたモジュラー・マトリックス設計最大6,144のクロスポイント構成が可能、Xの個数をプラグインの追加により拡張 12 個または6個のアナログ・バス低レベルおよび高速スイッチング速度で最大の信頼性を実現する最高品質のルテニウム・リード・リレートリガー機能を備えたビルトインのスキャン・リスト・シーケンス保存機能ピカリング社の診断テストツールによるサポート： BIRST：内蔵リレー・セルフ・テスト eBIRST：スイッチング・システム・テスト・ツール
高密度単極 LXI マトリックスモジュール (モデル 60-553 シリーズ)	最大4,096のクロスポイントを持つ単極高密度マトリックスデュアル・アナログ・バスマトリックス・サイズ 256×4 ～ 1024×4 クロスポイントを最大1,027個まで同時に閉じる事が可能最大150VDC/100VAC ＆最大60Wの電力を切り替え可能最大2Aの電流を切替可能ピカリング社の診断テストツールによるサポート： BIRST：内蔵リレー・セルフ・テスト eBIRST：スイッチング・システム・テスト・ツール
BRIC超高密度 PXI マトリクスモジュール (モデル 40-558 シリーズ)	モジュールあたり最大6,144のクロスポイントを備えた超高密度0.5Aマトリックス・スイッチ内蔵の高性能シールド・アナログ・バスを備えた統合 PXI モジュール信頼性の高いピッカリング社製ルテニウム・リード・リレーを使用して最大のパフォーマンスを実現アナログ・バス幅の選択: 6、8、12、および 16 極とデュアル・アナログ・バスのオプション 2、4、および 8 スロットの3UサイズのPXI モジュールを提供ピカリング社の診断テストツールによるサポート： BIRST：内蔵リレー・セルフ・テスト eBIRST：スイッチング・システム・テスト・ツール
高密度シングル・スロット PXI マトリクスモジュール (モデル 40-584 シリーズ)	256のクロスポイントを備えた高密度シングルスロット3UサイズのPXI 2Aマトリックス・スイッチ 128×2、64×4、32×8、および 16×16のオプション最大電流2Aホットまたはコールドのスイッチングに対応最大300VDC/250VACかつ最大60Wの電力の切替えに対応金メッキ接点を採用した電気機械式リレーピカリング社の診断テストツールによるサポート： BIRST：内蔵リレー・セルフ・テスト eBIRST：スイッチング・システム・テスト・ツール
高密度シングル・スロット PXIリード・リレー・モジュール (モデル 40-54x シリーズ)	528のクロスポイントを備えた高密度シングルスロットの3UサイズのPXIリード・リレー・マトリックス・モジュールリレーを部分的に実装する構成を使用してコストを最小化 (すべてのモデルで利用可能) 10Wの最大電力で最大150V、0.5Aに切り替え最大300VDC/250VACかつ最大60Wの電力の切替えに対応高速動作速度 <300ms ピカリング社の診断テストツールによるサポート： eBIRST：スイッチング・システム・テスト・ツール